微机电系统工程以机、电技术,尤其是微机械为基础,运用微电子技术和微加工技术,进行微纳米和微机电系统内的一系列微微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术。型器件的设计、制造及测试等。